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晶圆切割提高切割质量,博捷芯划片机半导体解决方案

2023-02-11 来源: 博捷芯 浏览量:921

晶圆切割机,博捷芯划片机,划片机,半导体划片机

晶圆划片切割中,总会遇到各种情况,而*常见的就是工件的崩边问题,崩边包括:正崩,背崩,掉角及裂痕等。而有很多种不同因素都会导致崩边的产生,比如工件表面情况、粘膜情况、冷却水、刀片等。

晶圆划片如何提高切割品质

尽可能减少崩边产生对划片机来说是至关重要的,国产划片机博捷芯半导体也一直在不断地摸索各种材质的*优切割工艺,以提高切割品质并为客户提供优质服务为己任。博捷芯半导体通过不断开拓创新,提高划片机切割不同材质的效率。精密晶圆划片机切割已有比较完善的解决方案。

划片机切割时工件表面有杂质或者本身材质不均匀,可能会导致刀片磨损不均匀而破损,从而导致崩边的产生。粘膜的种类、厚度以及切割深度的不合适也都会导致工件崩边。然而,冷却水也是至关重要的,如果冷却不够充分,会影响刀片冷却,那么切削能力也会受到影响,也非常容易产生崩边。另外,选择合适的刀片也是非常重要的环节,如果刀片颗粒度不适合,就能直接导致各种崩边甚至掉角飞晶。

 

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