山东大学X射线形貌检测系统单一来源公告

根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，现对山东大学X射线形貌检测系统进行其他招标，欢迎合格的供应商前来投标。

项目名称：山东大学X射线形貌检测系统

项目编号：SDJXHF20230039-Z031

项目联系方式：

项目联系人：田老师

项目联系电话：0531-88366151

采购单位联系方式：

采购单位：山东大学

采购单位地址：山东省济南市山大南路27号

采购单位联系方式：鲁老师 0531-88363689

一、采购项目内容

X射线形貌仪系统可以实现半导体晶体缺陷的无损表征，同时也有利于研究晶体缺陷变化规律，为晶体生长工艺和外延工艺的改进提供了理论指导和数据支持。

XRT设备是唯一具有微焦斑转靶技术的设备，即在同一台设备上同时具有Cu和Mo靶，并可以对设备进行晶片纵切片的透射检测和晶片表面的反射模式检测，全方面的掌握晶片的详细信息，同时，可以适用于SiC、GaN和AlN等多种宽禁带半导体材料。因此采用单一来源方式采购。北京嘉德利达科技有限公司为本项目唯一授权代理公司。

拟定唯一供应商名称：北京嘉德利达科技有限公司

二、开标时间：2023年05月16日 14:30

三、其它补充事宜

四、预算金额：

预算金额：1400.0000000 万元（人民币）